尾气（氢气+氯硅烷）回收技术
为节约能源资源 、发展循环经济 、保护环境提供技术解决方案和专用装备 ，主要包括节能产业 、资源循环利用产业和环保装备产业 ，涉及节能环保技术与装备 、节能产品和服务等；涉及领域包括 ：节能技术和装备 、高效节能产品 、节能服务产业 、先进环保技术和装备 、环保产品与环保服务 。为用户提供高效节能 、先进环保 、资源循环利用关键技术装备 、产品和服务 。
碳纤维新材料高端专用装备
尾气（氢气+氯硅烷）回收技术
为节约能源资源 、发展循环经济 、保护环境提供技术解决方案和专用装备 ，主要包括节能产业 、资源循环利用产业和环保装备产业 ，涉及节能环保技术与装备 、节能产品和服务等；涉及领域包括 ：节能技术和装备 、高效节能产品 、节能服务产业 、先进环保技术和装备 、环保产品与环保服务 。为用户提供高效节能 、先进环保 、资源循环利用关键技术装备 、产品和服务 。
主要通过低温吸收 ，变温及变压吸附等工艺 ，将氢气及氯硅烷从工艺废气中分离出来以达到循环利用的目的 。
技术优势 ：
u 氢气回收率高 ，氢气回收率≥80%；
u 通过STC吸收原料气中的氯硅烷 ，达到最大程度回收氯硅烷 ，原料重复利用；
u 通过干燥吸附-再生-二次吸附 ，最大限度的回收氢气 ，减少氢气排放 ，同时提高氢气的纯度；
u 利用变压吸附的废气对变温吸附设备进行反吹 ，节约公用工程用气；
u 采用全新的脱氧技术 ，节能环保；
采用变温吸附和变压吸附串联操作 ，能够快速有效地达到氢气提纯的目的；此方法废气处理量大 。
